[发明专利]在硫系玻璃表面加工微纳结构改善红外波段透过率的方法有效
| 申请号： | 201811331178.9 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111175857B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 王岭雪;程海娟;蔡毅;李茂忠;孟令海;吴绍华;木锐;黄攀;贾钰超;钟海政 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学;云南北方驰宏光电有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/118 | 分类号： | G02B1/118 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;仇蕾安 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在硫系玻璃表面加工微纳结构改善红外波段透过率的方法，属于红外光学玻璃加工及应用技术领域。该方法直接在硫系玻璃表面上制备折射率合适的微纳结构，避免引入新的膜材料，解决了传统镀制红外增透膜存在的多层膜膜材受限及膜层质量问题；该方法中采用的反应离子刻蚀主要是基于气体和硫系玻璃的化学反应，对聚合物涂层覆盖的部分不产生任何效应，避免了应力的产生，且是在常温以及真空状态下进行的，不会产生有毒成分的气化和泄露；该方法还可以实现非平面表面的微纳结构图案压印，拓展了大面积微纳加工的光学元件范畴，并且通过目标图形结构以及工艺参数的改变，可以实现硫系玻璃在红外各波段的高效增透。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 表面 加工 结构 改善 红外 波段 透过 方法 | ||
【主权项】：
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