[发明专利]一种平面光波导、其制备方法及热光器件有效
| 申请号： | 201811330553.8 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109239843B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 梁磊;王彪;张星;秦莉;陈泳屹;陈超;吴昊;贾鹏;张建伟;周寅利;曾玉刚;王玉冰;宁永强;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/132;G02B6/136;G02F1/01 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 豆贝贝;赵青朵 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种平面光波导、其制备方法及热光器件。本发明提供的平面光波导包括衬底‑无机材料下包层‑聚合物芯层‑无机材料上包层，即上下包层均采用无机材料，芯层为聚合物，且分别控制无机材料下包层、聚合物芯层和无机材料上包层的折射率、热光系数和热导率，使之处于特定的大小关系，从而能够充分利用无机材料及聚合物的热光、热导性等特性，将光场有效限制的在芯层，能够提升整体光波导有效折射率的变化速度，进而使光场相位发生变化，通过上述各方面特性的改善，进而有效降低热光响应时间，提升响应速度，改善热光器件的响应灵敏度，对获得快速热光器件具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 无机材料 热光器件 聚合物芯层 平面光波导 聚合物 上包层 下包层 光场 热光 芯层 响应灵敏度 有效折射率 大小关系 热光系数 相位发生 有效限制 重要意义 响应 光波导 热导率 热导性 折射率 包层 衬底 制备 | ||
【主权项】：
1.一种平面光波导，其特征在于，包括依次接触的衬底，无机材料下包层，聚合物芯层和无机材料上包层；/n所述聚合物芯层的折射率大于无机材料上包层和无机材料下包层的折射率；/n所述聚合物芯层的热光系数为负值，无机材料上包层和无机材料下包层的热光系数为正值，且聚合物芯层的热光系数的绝对值比无机材料上包层和无机材料下包层的热光系数至少大一个数量级；/n所述聚合物芯层的热导率大于无机材料上包层和无机材料下包层的热导率；/n所述聚合物芯层为SU-8芯层、氟化聚酰亚胺芯层、聚碳酸酯芯层、聚二甲基硅氧烷芯层或NOA胶芯层。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811330553.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
