[发明专利]微机械Z惯性传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201811330025.2 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109761184A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | R·博森德费尔;J·瓦尔德曼;J·莱茵穆特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;B81B7/02;G01P15/125;G01P15/18;G01P15/097 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微机械Z惯性传感器(100)，其具有：‑构造在微机械功能层(20)中的能运动的MEMS结构(21)；‑与能运动的所述MEMS结构(21)连接的扭转弹簧(22)；和‑与所述扭转弹簧(22)连接的弹簧装置(23,24)，其中，所述弹簧装置(23,24)构造成用于限定地阻止所述扭转弹簧(22)正交于所述MEMS结构(21)的敏感方向的偏转。本发明还涉及一种用于制造微机械Z惯性传感器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机械 惯性传感器 扭转弹簧 弹簧装置 偏转 功能层 正交 制造 敏感 | ||
【主权项】：
1.微机械Z惯性传感器(100)，具有：‑构造在微机械功能层(20)中的能运动的MEMS结构(21)；‑与能运动的所述MEMS结构(21)连接的扭转弹簧(22)；和‑与所述扭转弹簧(22)连接的弹簧装置(23,24)，其中，所述弹簧装置(23,24)构造成用于限定地阻止所述扭转弹簧(22)正交于所述MEMS结构(21)的敏感方向地偏转。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811330025.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
