[发明专利]一种位移测量光学系统有效
| 申请号： | 201811329268.4 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109520428B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 巴音贺希格;刘兆武;李文昊;李晓天;宋莹;姜珊;王玮;李烁;吕强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种位移测量光学系统，该光学系统包括：光源，偏振分光棱镜，直角反射棱镜，第一菲涅尔棱体，第二菲涅尔棱体，参考反射镜，测量反射镜组和光电探测器；所述直角反射棱镜设置在偏振分光棱镜的反射光路上；所述第一菲涅尔棱体设置在直角反射棱镜的反射光路上；所述参考反射镜设置在第一菲涅尔棱体的透射光路上；所述第二菲涅尔棱体设置在偏振分光棱镜的透射光路上；所述测量反射镜组设置在第二菲涅尔棱体的透射光路上；所述光电探测器将经过所述偏振分光棱镜耦合后出射的光束进行探测，并计算得到所述线偏振光的光程位移量。该位移测量光学系统可减少环境因素对测量结果的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 菲涅尔 棱体 偏振分光棱镜 光学系统 直角反射棱镜 位移测量 透射光 参考反射镜 光电探测器 反射镜组 反射光 测量 环境因素 线偏振光 耦合 位移量 出射 光程 光源 探测 | ||
【主权项】：
1.一种位移测量光学系统，其特征在于，包括：光源，偏振分光棱镜，直角反射棱镜，第一菲涅尔棱体，第二菲涅尔棱体，参考反射镜，测量反射镜组，光电探测器；/n所述光源用于产生线偏振光，所述线偏振光包括：/n第一偏振光，所述第一偏振光的光频率为f1；/n第二偏振光，所述第二偏振光的光频率为f2；/n所述偏振分光棱镜，用于接收所述第一偏振光和第二偏振光，将所述第一偏振光反射至所述直角反射棱镜，将所述第二偏振光透射至所述第二菲涅尔棱体；/n所述直角反射棱镜，设置在所述偏振分光棱镜的反射光路上，并对入射光进行反射；/n所述第一菲涅尔棱体，设置在所述直角反射棱镜的反射光路上，并对入射光进行透射；/n所述参考反射镜，设置在所述第一菲涅尔棱体的透射光路上，并可对经过所述第一菲涅尔棱体透射的光进行反射；/n所述第二菲涅尔棱体，设置在所述偏振分光棱镜的透射光路上，并可对入射光进行透射；/n所述测量反射镜组，设置在所述第二菲涅尔棱体的透射光路上，并可对经过所述第二菲涅尔棱体透射的光进行反射；/n所述光电探测器，将经过所述偏振分光棱镜耦合后出射的光束进行探测，并计算得到所述线偏振光的光程位移量。/n
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