[发明专利]一种PECVD电热炉体测试设备有效
| 申请号： | 201811325241.8 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN109342098B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 周佑丞;张春成;吴得轶 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M99/00 | 分类号： | G01M99/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;戴玲 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PECVD电热炉体测试设备，包括炉体承载平台和测试电控柜，炉体承载平台包括底架和至少一组炉体支撑架，各组炉体支撑架在底架上同一层布置或者在底架上分多层布置，每组炉体支撑架包括两个端面密封块、两个端面压紧组件和至少两根横梁，各横梁沿炉体长度方向间隔设置，每个横梁上设有一对可相互靠近或远离的支撑件，两个端面压紧组件位于外侧的两个横梁上，电热炉体布置于各横梁的支撑件上，两个端面密封块通过各端面压紧组件压紧在电热炉体的两端，电热炉体通过加热电线和外热偶分别与电控柜内的变压器和温控仪连接。本发明可兼容不同长度和口径的电热炉体，提高了炉体测试的效率、减少了烘烤对净化间的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 电热炉 测试 设备 | ||
【主权项】：
1.一种PECVD电热炉体测试设备，其特征在于：包括炉体承载平台和设于炉体承载平台一侧的测试电控柜(1)，所述炉体承载平台包括底架(2)和至少一组炉体支撑架(3)，各组炉体支撑架(3)在底架(2)上同一层布置或者在底架(2)上分多层布置，每组炉体支撑架(3)包括两个端面密封块(31)、两个端面压紧组件(32)和至少两根横梁(33)，各横梁(33)沿电热炉体(5)长度方向间隔设置，每个横梁(33)上设有一对可相互靠近或远离的支撑件(34)，且支撑件(34)的移动方向与电热炉体(5)的长度方向垂直，两个端面压紧组件(32)位于外侧的两个横梁(33)上，所述电热炉体(5)布置于各横梁(33)的支撑件(34)上，两个端面密封块(31)通过各端面压紧组件(32)压紧在电热炉体(5)的两端，所述测试电控柜(1)内设有变压器(11)和温控仪(12)，所述电热炉体(5)通过加热电线和外热偶分别与变压器(11)和温控仪(12)连接。
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