[发明专利]一种采用光驱动控制的MEMS光开关在审
| 申请号： | 201811311609.5 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN109270637A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 杨光瑶;毛焜 | 申请（专利权）人： | 成都信息工程大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 杨晓华 |
| 地址： | 610225 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用光驱动控制的MEMS光开关，包括第一基片、第二基片；第一基片上集成有通信光纤、移动式微反射镜、静电执行器，所述静电执行器包括一对电极；第一基片与第二基片相键合后在所述第一基片与第二基片之间形成一密闭腔室，所述密闭腔室内设置有第一对金属面，所述的第一对金属面中，其中的一个金属面为具有光电效应的第一光电子发射金属面，另一个金属面为用于接收光电子的第一光电子接收金属面；所述密闭腔室上设置有其光线射向第一光电子发射金属面驱动光纤；所述的一对电极分别通过第一导线、第二导线与所述第一光电子发射金属面、第一光电子接收金属面对应连接。本发明实现了纯光线驱动模式下的光路切换。 | ||
| 搜索关键词： | 金属面 光电子发射 光电子 静电执行 密闭腔室 电极 光驱动 光电效应 光路切换 驱动模式 通信光纤 反射镜 光线射 密闭腔 键合 光纤 金属 驱动 室内 移动 | ||
【主权项】：
1.一种采用光驱动控制的MEMS光开关，其特征在于，包括第一基片、与所述第一基片相键合的第二基片；所述第一基片上集成有用于传输光信号的通信光纤、用于切换所述通信光纤光路的移动式微反射镜、用于驱动所述移动式微反射镜移动的静电执行器，所述静电执行器包括一对电极，所述一对电极包括固定设置的固定静电电极、可动设置的移动静电电极，所述移动式微反射镜设置在移动静电电极上；所述第一基片与第二基片相键合后在所述第一基片与第二基片之间形成一密闭腔室，所述密闭腔室内设置有第一对金属面，所述的第一对金属面相对靠近设置，且在所述的第一对金属面中，其中的一个金属面为具有光电效应的第一光电子发射金属面，其中的另一个金属面为用于接收光电子的第一光电子接收金属面；所述密闭腔室上设置有驱动光纤，所述驱动光纤的输出光线直接射向第一光电子发射金属面，或者通过在所述密闭腔室内的至少一次反射射向第一光电子发射金属面；所述的一对电极分别通过第一导线、第二导线与所述第一光电子发射金属面、第一光电子接收金属面对应连接。
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