[发明专利]投影物镜像差检测装置及检测方法

摘要

本发明实施例公开了一种投影物镜像差检测装置及检测方法，包括测定模块和计算模块；测定模块包括沿光线传播路径依次设置的光源、照明系统、物方掩模版、待测投影物镜和像方掩模版以及波前传感器；物方掩模版包括多个第一通光孔和多个第一衍射孔；像方掩模版包括多个第二通光孔和多个第二衍射孔；波前传感器用于检测标定状态下的波前信息和检测状态下的波前信息；计算模块与波前传感器连接，用于基于标定状态下的波前信息以及检测状态下的波前信息，得到待测投影物镜的波像差，以实现提供一种对光源相干性要求低、结构简单、标定时效性较佳、环境变化对测量结果影响较小的投影物镜像差检测装置。