[发明专利]相对于温度变化稳定性提高的微机电谐振器系统

摘要

本公开涉及相对于温度变化稳定性提高的微机电谐振器系统。MEMS谐振器系统具有微机械谐振结构和电子处理电路，电子处理电路包括第一谐振回路，第一谐振回路激发结构的第一振动模式并且生成在第一谐振频率的第一信号。根据温度变化测量结果，补偿模块补偿由温度变化造成的第一谐振频率的第一变化，以生成在期望频率的时钟信号，期望频率相对于温度是稳定的。电子处理电路还包括第二谐振回路，第二谐振回路激发结构的第二振动模式并且生成在第二谐振频率的第二信号。温度感测模块接收第一和第二信号，并且根据由温度变化造成的第一谐振频率的第一变化和第二谐振频率的第二变化，生成温度变化测量结果。

主权项

1.一种MEMS谐振器系统，包括：微机械谐振结构；以及耦合至所述微机械谐振结构的电子处理电路，所述电子处理电路包括：第一谐振回路，其被配置为激发所述微机械谐振结构的第一振动模式并且生成在第一谐振频率的第一信号；第二谐振回路，其被配置为激发所述微机械谐振结构的第二振动模式并且生成在第二谐振频率的第二信号；温度感测模块，其被配置为接收所述第一信号和所述第二信号，并且根据所述第一谐振频率的第一变化以及根据所述第二谐振频率的第二变化，生成温度变化的测量结果；以及补偿模块，其被配置为接收所述第一信号，并且根据温度变化的所述测量结果，补偿由所述温度变化造成的所述第一谐振频率的所述第一变化，以生成在期望频率的时钟信号，所述期望频率是所述第一谐振频率的函数。