[发明专利]一种表面等离激元编码单元及表面等离激元编码芯片

摘要

本发明公开了一种表面等离激元编码单元及表面等离激元编码芯片。该表面等离激元编码单元包括：透明衬底和设置于透明衬底一侧的金属层；金属层包括至少两组编码组件；每个编码组件包括编码信号产生元件，编码信号产生元件包括第一狭缝和第二狭缝；每个编码组件还包括位于编码信号产生元件的两侧的第一编码信号接收元件和第二编码信号接收元件；每个第一编码信号接收元件以及每个第二编码信号接收元件均包括一组光栅结构，每组光栅结构包括至少两个凹槽；凹槽的延伸方向与第一狭缝的延伸方向之间的夹角不等于90°，且凹槽的深度小于金属层的厚度。本实施例提供的表面等离激元编码单元，可以实现更大的存储密度。

主权项

1.一种表面等离激元编码单元，其特征在于，包括：透明衬底和设置于所述透明衬底一侧的金属层；所述金属层包括至少两组编码组件；每个所述编码组件包括编码信号产生元件，所述编码信号产生元件包括延伸方向相同的第一狭缝和第二狭缝；沿垂直于所述第一狭缝的延伸方向，所述第一狭缝的尺寸大于所述第二狭缝的尺寸；所述第一狭缝以及所述第二狭缝贯穿所述金属层；沿垂直于所述第一狭缝的延伸方向，每个所述编码组件还包括位于所述编码信号产生元件的两侧的第一编码信号接收元件和第二编码信号接收元件；每个所述第一编码信号接收元件以及每个所述第二编码信号接收元件均包括一组光栅结构，每组所述光栅结构包括至少两个凹槽；所述凹槽的延伸方向与所述第一狭缝的延伸方向之间的夹角不等于90°，且所述凹槽的深度小于所述金属层的厚度。