[发明专利]一种薄膜热扩散系数的测量方法有效
| 申请号： | 201811269170.4 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN109557129B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 郑飞虎;潘善照;周川琦;赵欠丽;谢姣;孙文举;黄陈昱;张冶文 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01N25/18 | 分类号： | G01N25/18;G01N27/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 宣慧兰 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜热扩散系数的测量方法，包括：1、在待测薄膜与辅助薄膜间设置一层金属电极后将两薄膜相贴合组成待测样品，在待测样品的两侧再分别设置一层金属电极；2、对待测薄膜两侧的金属电极施加直流电场，同时用脉冲激光对位于待测薄膜一侧的金属电极垂直击打；3、采集脉冲激光在待测样品中产生的位移电流；4、将位移电流的时域信号变换到复频域，得到待测样品内电场‑频率的关系曲线，选取曲线上分界面处的频率，再结合薄膜厚度计算得到热扩散系数。与现有技术相比，本发明只需要通过热脉冲法得到薄膜样品的位移电流，经过傅里叶变换后找到转折频率点就可以计算得到待测样品的热扩散系数，具有操作简单、计算方便的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 扩散系数 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜热扩散系数的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、选取厚度是待测薄膜厚度的2～4倍的另一薄膜作为辅助薄膜，在待测薄膜与辅助薄膜间设置一层金属电极后将两薄膜相贴合组成待测样品，在待测样品的两侧再分别设置一层金属电极；S2、对待测薄膜两侧的金属电极施加直流电场，同时用脉冲激光对待测样品两侧中位于待测薄膜一侧的金属电极垂直击打；S3、通过示波器采集脉冲激光在待测样品中产生的位移电流；S4、将位移电流的时域信号变换到复频域，利用尺度变换法得到待测样品内电场‑频率的关系曲线，选取曲线上分界面处的频率，再结合薄膜厚度计算得到热扩散系数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于同济大学，未经同济大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811269170.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
