[发明专利]流量检测装置、流量控制系统及流量检测方法有效
| 申请号： | 201811267566.5 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN111103020B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 王瑞;牟昌华;赵迪 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创流量计有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/36 | 分类号： | G01F1/36;G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流量检测装置、流量控制系统及流量检测方法，属于半导体工艺制造技术领域，其可至少部分解决现有的流量检测装置对气体流量检测不准确以及响应慢的问题。本发明的一种流量检测装置，用于检测气体通道内的流量，气体通道包括相连接的上游通道和下游通道，所述上游通道和下游通道的连接处形成喉口，喉口的横截面积小于上游通道和下游通道二者中任意一个的横截面积，流量检测装置包括：第一压力测试单元，用于测定上游通道的第一压力值；第二压力测试单元，用于测定下游通道的第二压力值；流量计算单元，分别与第一压力测试单元、第二压力测试单元连接，以根据第一压力值和第二压力值得出矫正流量值。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 检测 装置 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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