[发明专利]抗蚀剂的品质管理方法及得到抗蚀剂的品质预测模型的方法在审
| 申请号： | 201811256005.5 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109725015A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 新井直树;提箸正义;片山和弘 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G01N24/08 | 分类号： | G01N24/08;G06K9/62;G16C20/70;G16C20/30 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种用于抗蚀剂的品质管理及探明不良产生时的早期原因的简便的经机械化的解析方法。本发明提供一种抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，包括：(1)对抗蚀剂进行前处理，得到分析样本的工序；(2)将所述分析样本供于机器分析，得到分析结果的工序；(3)将所述分析结果变换为数值数据，进行多变量解析的工序；以及(4)由得到的解析结果对品质进行管理的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 品质管理 解析 样本 解析结果 品质预测 数值数据 分析 多变量 前处理 机械化 对抗 管理 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂的品质管理方法，其特征在于，包括：(1)对抗蚀剂进行前处理，得到分析样本的工序；(2)将所述分析样本供于机器分析，得到分析结果的工序；(3)将所述分析结果变换为数值数据，进行多变量解析的工序；以及(4)由得到的解析结果对品质进行管理的工序。
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