[发明专利]一种双通道光栅位移测量方法有效
| 申请号： | 201811240765.7 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN109029272B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 张瑞;王雅宁;李孟委;解琨阳;王志斌;赵宏波 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及高精度位移测量技术领域，更具体而言，涉及一种双通道光栅位移测量方法，通过改变传统亚波长双层光栅结构，实现两个相位相差90°的双通道光栅位移传感，结合反正切可实现大量程、全量程灵敏度一致的高精度位移测量。由于该方法可获得一个通道光强随位移为正弦三角函数、另一个通道光强光强随位移为余弦三角函数，并且光栅常数d为亚波长级别，结合高倍细分技术，可实现跟高位移灵敏度的探测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双通道 光栅 位移 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种双通道光栅位移测量方法，其特征在于：包括激光器(1)、扩束准直器(2)、第一亚波长光栅(3)、第二亚波长光栅(4)、第一光电探测器(5)和第二光电探测器(6)，所述激光器(1)发出的光通过扩束准直器(2)，入射到第一亚波长光栅(3)，光再通过第二亚波长光栅(4)，由第一光电探测器(5)和第二光电探测器(6)探测透射光强，设置第二亚波长光栅(4)为固定光栅，第一亚波长光栅(3)为位移输入光栅，当第一亚波长光栅(3)发生位移时，第一光电探测器(5)和第二光电探测器(6)的光强发生变化，经过结算获得位移量S。
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