[发明专利]一种宏微双驱动精密定位平台及其控制方法

摘要

本发明公开了一种宏微双驱动精密定位平台及其控制方法，属于精密定位技术领域，包括基座、导轨、平台、宏微驱动器和限位机构，所述基座底部焊接有支撑柱，所述导轨通过内六角螺栓固定连接在基座上端面，且导轨滑动连接有滑块，所述平台通过内六角螺钉固定连接在滑块上端面，所述滑块一侧安装有宏动标尺光栅，所述导轨一侧安装有宏动光栅读数头，所述滑块另一侧安装有微动标尺光栅，所述导轨另一侧安装有微动光栅读数头，所述宏微驱动器安装在固定座的中间孔上，所述限位机构安装在固定座侧孔内。本发明通过宏微双驱动解决大行程与高精度之间的矛盾，采用双光栅检测方案，能够实现定位平台的全闭环控制以达到精密定位。

主权项

1.一种宏微双驱动精密定位平台，包括基座(2)、导轨(11)、平台(9)、宏微驱动器(6)和限位机构(7)，其特征在于：所述基座(2)底部焊接有支撑柱(12)，所述导轨(11)通过内六角螺栓(45)固定连接在基座(2)上端面，且导轨(11)滑动连接有滑块(10)，所述平台(9)通过内六角螺钉(8)固定连接在滑块(10)上端面，所述滑块(10)一侧安装有宏动标尺光栅(15)，所述导轨一侧安装有宏动光栅读数头(14)，所述滑块(10)另一侧安装有微动标尺光栅(20)，所述导轨另一侧安装有微动光栅读数头(21)，所述固定座(3)固定安装在基座(2)一端，所述宏微驱动器(6)安装在固定座(3)的中间孔上，且宏微驱动器(6)输出端与平台(9)一侧固定连接，所述限位机构(7)安装在固定座(3)侧孔内，所述基座(2)左端焊接有支架(4)，所述支架(4)顶端固定安装有计算机(5)，所述基座(2)下端焊接有电源箱(18)，所述宏微驱动器(6)、限位机构(7)、计算机(5)、宏动光栅读数头(14)、微动光栅读数头(21)与电源箱(18)电性连接；所述宏微驱动器(6)包括外壳(23)、宏动线圈骨架(24)、内磁轭筒(36)、微动线圈骨架(35)、GMM棒(26)、输出杆(30)和端盖(32)，所述外壳(23)内壁固定安装有环形磁铁(22)，所述宏动线圈骨架(24)放置在环形磁铁(22)内部，且宏动线圈骨架(24)外围绕接有宏动线圈(28)，所述宏动线圈骨架(24)顶端卡接有磁轭套筒(31)，所述磁轭套筒(31)内部固定安装有隔磁套筒(29)，所述内磁轭筒(36)安装在隔磁套筒(29)内部，所述微动线圈骨架(35)设置在内磁轭筒(36)内部，且微动线圈骨架(35)外围绕接有微动线圈(27)，所述GMM棒(26)放置在微动线圈骨架(35)内部，且GMM棒(26)两端均设置有导磁块(25)，所述微动线圈骨架(35)顶端设置有导磁筒(34)，所述输出杆(30)设置在导磁块(25)顶端，所述端盖(32)与隔磁套筒(29)顶端通过螺纹连接，所述输出杆(30)贯穿端盖(32)，且端盖(32)与输出杆(30)之间设置有碟簧(33)；所述限位机构(7)包括滑动筒(38)、铁芯(41)、活塞(39)、推杆43，所述滑动筒(38)内部固定安装有铁心(41)，且滑动筒(38)上设置有漏气孔(44)，所述铁心(41)外围绕接有磁力线圈(40)，所述滑动筒(38)一侧通过螺纹连接有螺纹盖(37)，且滑动筒(38)滑动连接有活塞(39)，所述活塞(39)一侧内部固定安装有钢片(42)，且活塞(39)另一侧连接有推杆(43)，所述推杆(43)贯穿螺纹盖(37)焊接有固定板(17)，所述固定板(17)另一端与端盖(32)、隔磁套筒(29)和磁轭套筒(31)相接触。