[发明专利]一种含铁框晶圆共用量测治具在审

专利信息
申请号: 201811228260.9 申请日: 2018-10-22
公开(公告)号: CN109443124A 公开(公告)日: 2019-03-08
发明(设计)人: 许刚;钟志芳 申请(专利权)人: 合肥新汇成微电子有限公司
主分类号: G01B5/00 分类号: G01B5/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种含铁框晶圆共用量测治具,包括承载平台和晶圆托,所述承载平台的表面上形成有圆形基准线,还具有围绕所述基准线固定设置的多个定位凸起,所述晶圆托为透明的板状结构,具有贴装区,用于贴装晶圆,所述晶圆托外周具有与所述定位凸起相匹配的定位面,所述定位凸起包括柱状凸起和矩形凸起,所述定位面相应的具有弧形面和平面。
搜索关键词: 晶圆 定位凸起 承载平台 定位面 基准线 含铁 贴装 治具 板状结构 固定设置 矩形凸起 柱状凸起 弧形面 透明的 外周 匹配
【主权项】:
1.一种含铁框晶圆共用量测治具,其特征在于:包括承载平台和晶圆托,所述承载平台的表面上形成有圆形基准线,还具有围绕所述基准线固定设置的多个定位凸起,所述晶圆托为透明的板状结构,具有贴装区,用于贴装晶圆,所述晶圆托外周具有与所述定位凸起相匹配的定位面,所述定位凸起包括柱状凸起和矩形凸起,所述定位面相应的具有弧形面和平面。
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