[发明专利]一种含铁框晶圆共用量测治具在审
申请号: | 201811228260.9 | 申请日: | 2018-10-22 |
公开(公告)号: | CN109443124A | 公开(公告)日: | 2019-03-08 |
发明(设计)人: | 许刚;钟志芳 | 申请(专利权)人: | 合肥新汇成微电子有限公司 |
主分类号: | G01B5/00 | 分类号: | G01B5/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种含铁框晶圆共用量测治具,包括承载平台和晶圆托,所述承载平台的表面上形成有圆形基准线,还具有围绕所述基准线固定设置的多个定位凸起,所述晶圆托为透明的板状结构,具有贴装区,用于贴装晶圆,所述晶圆托外周具有与所述定位凸起相匹配的定位面,所述定位凸起包括柱状凸起和矩形凸起,所述定位面相应的具有弧形面和平面。 | ||
搜索关键词: | 晶圆 定位凸起 承载平台 定位面 基准线 含铁 贴装 治具 板状结构 固定设置 矩形凸起 柱状凸起 弧形面 透明的 外周 匹配 | ||
【主权项】:
1.一种含铁框晶圆共用量测治具,其特征在于:包括承载平台和晶圆托,所述承载平台的表面上形成有圆形基准线,还具有围绕所述基准线固定设置的多个定位凸起,所述晶圆托为透明的板状结构,具有贴装区,用于贴装晶圆,所述晶圆托外周具有与所述定位凸起相匹配的定位面,所述定位凸起包括柱状凸起和矩形凸起,所述定位面相应的具有弧形面和平面。
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