[发明专利]一种移料机构及PVD镀膜设备在审
| 申请号： | 201811228258.1 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN109082644A | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 许钊;吴丰礼;周小江 | 申请（专利权）人： | 广东拓斯达科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于自动化上下料技术领域，公开了一种移料机构及PVD镀膜设备。包括固定件、滑动组件、第一夹具及第二夹具，滑动组件能够滑动的设置于固定件上，第一夹具连接于滑动组件一端，第二夹具能够滑动的设置于滑动组件上。本发明提出的移料机构，通过设置滑动组件，第一夹具连接于滑动组件的一端，第二夹具能够滑动的设置于滑动组件上，当滑动组件的运动时能够带动第一夹具动作，第二夹具能够相对滑动组件运动，使得第一夹具和第二夹具可同时动作，也可单独进行动作，第一夹具和第二夹具的一体化设置，使该移料机构结构紧凑，便于维修，减小了移料机构的占地面积，降低了生产成本。本发明提出的PVD镀膜设备，结构紧凑，占地面积小，生产成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 滑动组件 移料机构 滑动 固定件 生产成本 相对滑动组件 一体化设置 便于维修 上下料 减小 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种移料机构，其特征在于，包括：固定件(1)；滑动组件(2)，能够滑动的设置于所述固定件(1)上；第一夹具(4)及第二夹具(5)，所述第一夹具(4)连接于所述滑动组件(2)一端，所述第二夹具(5)能够滑动的设置于所述滑动组件(2)上。
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