[发明专利]一种耐烧蚀平面三电极高压开关及其制备方法

摘要

本发明涉及高功率脉冲应用领域，具体涉及一种耐烧蚀平面三电极高压开关及其制备方法。高压开关包括：基片；三电极层：设置在基片之上，包括阳极、阴极和触发极，阳极和阴极为左右对称半圆形结构，阳极和阴极间设置有主电极间隙，触发电极设置在阳极和阴极之间，且距离阴极更近；耐烧蚀层：设置在三电极层之上，分为三部分，分别与三电极层的阳极、阴极和触发极的形状相匹配，在阳极、阴极和触发极的后端部预留焊盘区，覆盖阳极、阴极和触发极的前端。本申请通过在三电极层的表面沉积耐烧蚀层，使平面三电极高压开关可以多次重复性使用，提高了使用寿命。本申请采用微机电系统工艺制备高压开关，提高了产品的一致性，可以实现批量化生产。

主权项

1.一种耐烧蚀平面三电极高压开关，其特征在于，所述高压开关包括：基片(1)；三电极层(2)：设置在基片(1)之上，包括阳极、阴极和触发极，阳极和阴极为左右对称半圆形结构，阳极和阴极间设置有主电极间隙，触发电极设置在阳极和阴极之间，且距离阴极更近，触发电极和阴极之间的距离为触发电极间隙；耐烧蚀层(3)：设置在三电极层之上，分为三部分，分别与三电极层的阳极、阴极和触发极的形状相匹配，在阳极、阴极和触发极的后端部预留尺寸为3mm‑6mm×1.5mm‑2mm的焊盘区，覆盖阳极、阴极和触发极的前端并分别比阳极、阴极和触发极向前多延伸5μm‑10μm。