[发明专利]一种光学镜面磁悬浮支撑装置

摘要

本发明公开了一种光学镜面磁悬浮支撑装置，包括轴向电磁导向装置、径向电磁导向装置和光学镜面固定装置；轴向电磁导向装置中，电磁铁一均匀安装在光学镜面固定装置下端的底板上，永磁铁一均匀安装在光学镜面固定装置底部；径向电磁导向装置中，电磁铁二通过螺钉均匀安装在电磁铁安装架边缘的竖直安装板内侧，永磁铁二通过紧定螺钉均匀安装在光学镜面固定装置的外壁上；待加工光学镜面的侧面通过锁紧螺钉限位固定在光学镜面固定装置上。本发明可实现在加工光学主镜过程中镜面的高度支撑和位姿调节，通过柔性支撑有效避免加工冲击或者振动对支撑装置造成的损坏，同时解决以往支撑方式出现的摩擦、泄露和迟滞等问题，维护简单，操作方便。

主权项

1.一种光学镜面磁悬浮支撑装置，其特征在于，包括轴向电磁导向装置、径向电磁导向装置和光学镜面固定装置(5)；其中，轴向电磁导向装置包括电磁铁安装架(1)、若干电磁铁一(3)和若干永磁体一(4)，电磁铁安装架(1)包括圆形底板(1.1)和围绕圆形底板边沿的竖直安装板(1.2)，电磁铁一(3)通过螺钉(2)均匀安装在光学镜面固定装置(5)下端的底板(1.1)上，永磁铁一(4)通过紧定螺钉(11)均匀安装在光学镜面固定装置(5)底部，且布置的永磁铁一(4)和电磁铁一(1)均一一对应，每对电磁铁一(3)和永磁铁一(4)的轴心在同一垂直线上，电磁铁一(3)的磁极与永磁铁一(4)的磁极同极相对设置，所述电磁铁一(3)均采用统一规格型号，所述永磁铁一(4)均采用统一规格型号；径向电磁导向装置包括若干电磁铁二(8)和若干永磁铁二(7)，电磁铁二(8)通过螺钉(2)均匀安装在电磁铁安装架(1)边缘的竖直安装板(1.2)内侧，永磁铁二(7)通过紧定螺钉(11)均匀安装在光学镜面固定装置(5)的外壁上，且布置的永磁铁二(7)和电磁铁二(8)均一一对应，每对电磁铁二(8)和永磁铁二(7)的轴心在同一水平线上，电磁铁二(8)的磁极与永磁铁二(7)的磁极同极相对设置，所述电磁铁二(8)均采用统一规格型号，所述永磁铁二(7)均采用统一规格型号；光学镜面固定装置(5)包括圆形镜面固定座，待加工光学镜面(6)安装在镜面固定座的内凹槽内，待加工光学镜面(6)的侧面通过锁紧螺钉(10)限位固定。