[发明专利]一种自动精密电化学蚀刻方法及自动精密电化学蚀刻设备在审
| 申请号： | 201811214165.3 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN111074329A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 王晓冉 |
| 主分类号： | C25F3/02 | 分类号： | C25F3/02;C25F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100102 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种自动精密电化学蚀刻方法，主要通过参数设置、工件自动定位、初始值采集、计算蚀刻电流做功量以及对初始值调整等步骤实现精密蚀刻的过程控制，从而对待处理工件进行精密蚀刻。本发明通过比较预先计算出来的电流做功量和实际蚀刻过程中电流实际做功量来进行精密蚀刻的闭环控制过程，从而实现电化学蚀刻的精确控制；其中，通过采用VCO转换法来精确地获取蚀刻过程中蚀刻电流实际做功量，以对工件的减薄量进行精确地控制；此外，本发明还涉及实施该自动精密电化学蚀刻方法的自动精密电化学蚀刻设备。本发明极大提高了电化学蚀刻的精度和电化学蚀刻过程控制的稳定性以及蚀刻效率，并大大降低了蚀刻成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 精密 电化学 蚀刻 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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