[发明专利]集射真空泵

摘要

本发明提供了一种集射真空泵，由泵体、齿轮、轴、轴承及泵盖组成。泵体内腔设有多级引射腔；并且泵体内设有径向起伏、轴向螺旋推进的抽排通道。齿轮上开有凹槽，凹槽与泵体内腔的隔环配合形成多级引射腔。经吸气口进入抽排通道的被抽气体与高速旋转的齿轮接触并相互作用，在这种刚性流体的低压吸引作用、轮齿的机械推动作用和离心力的共同作用下，被抽气体被引射形成定向流动，并逐级加压，获得较高的真空。在圆周方向上泵体内设多条相对独立又同时工作的抽排通道，以此获得大的抽气量。本发明可以在低能耗的情况下获得大抽气量和较高的真空。