[发明专利]真空室及等离子体装置有效
| 申请号： | 201811194090.7 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN109121275B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李波;周海山;周卫云;彭元凯;史磊 | 申请（专利权）人： | 合肥聚能电物理高技术开发有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/02 | 分类号： | H05H1/02 |
| 代理公司： | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人： | 李慧 |
| 地址： | 230031 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种真空室及由该真空室所组成的等离子体装置，真空室包括等离子体限制器、水冷导轨以及用于调整等离子体限制器在水冷导轨上安装位置调整组件；等离子体装置由真空室串联而成，在真空室的端口法兰上设有为等离子体限制器的位置调整提供基准的激光测量用靶标座。本发明能承能实现限制器的稳定运行，可实现限制器沿真空室轴向移动，便于保证真空室串联后多个限制器同心度，为高品质等离子体产生提供基础，同时具有便于拆装的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体限制器，包括热沉体，其特征在于：所述热沉体呈空心圆柱状，内部沿高度方向上开设有冷却水道，端部设有进出水道口，进出水道口上安装有热沉水嘴，热沉体外设有热沉屏蔽组件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥聚能电物理高技术开发有限公司，未经合肥聚能电物理高技术开发有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811194090.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种CT设备
- 下一篇：天线及等离子体处理装置
