[发明专利]一种大功率复合频率ICP等离子发生器在审
| 申请号： | 201811163946.4 | 申请日： | 2018-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN108966474A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 郑小勇 | 申请（专利权）人： | 张家港衡德新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304 | 代理人： | 汤婷 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港市锦*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种大功率复合频率ICP等离子发生器，包括：射频电源，频率为3‑27.12MHz,功率为1‑10KW；中频电源，频率为50‑1000KHz,功率为10‑200KW；等离子体管，内部形成有等离子体发生内腔；螺旋感应圈，同轴包裹于所述等离子体管外壁，上端为所述射频电源接入端，下端为所述中频电源接入端，所述射频电源接入端下方抽头为所述射频电源、中频电源公共接地端；气体分布头，密封设置于所述等离子体管顶部。本发明的优点在于电源的成本低，可靠性高，可以大大降低感应电源的制造或采购成本。 | ||
| 搜索关键词： | 射频电源 等离子体管 中频电源 接入端 等离子发生器 复合频率 等离子体发生 公共接地端 螺旋感应圈 气体分布头 抽头 感应电源 密封设置 同轴包裹 上端 内腔 外壁 下端 电源 采购 申请 制造 | ||
【主权项】：
1.一种大功率复合频率ICP等离子发生器，其特征在于，包括：射频电源，频率为3‑27.12MHz,功率为1‑10KW；中频电源，频率为50‑1000KHz,功率为10‑200KW；等离子体管，内部形成有等离子体发生内腔；螺旋感应圈，同轴包裹于所述等离子体管外壁，上端为所述射频电源接入端，下端为所述中频电源接入端，所述射频电源接入端下方抽头为所述射频电源、中频电源公共接地端；气体分布头，密封设置于所述等离子体管顶部。
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