[发明专利]一种复合结构石英陶瓷坩埚及其制备方法在审
申请号: | 201811158982.1 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN109267150A | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
发明(设计)人: | 任丽敏;刘兵;吴纯;钟德京;黄秀秀;彭也庆;贾建广 | 申请(专利权)人: | 江西中材太阳能新材料有限公司;中材江苏太阳能新材料有限公司;中材高新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06;C04B35/14;C04B35/622 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 338000 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明提供了一种复合结构石英陶瓷坩埚,所述复合结构石英陶瓷坩埚包括坩埚本体以及设置在所述坩埚本体的全部或部分内表面的高纯石英层,所述高纯石英层的材料包括纯度大于99.99%且粒径不超过5mm的高纯石英砂,其中,所述高纯石英砂中粒径大于2mm的颗粒质量占比为10%‑35%。该复合结构石英陶瓷坩埚进行多晶硅铸锭时,可以减少硅锭中杂质含量和氧含量,减少硅锭的红边现象,获得高质量的多晶硅锭。 | ||
搜索关键词: | 石英陶瓷坩埚 复合结构 高纯石英层 高纯石英砂 坩埚本体 硅锭 多晶硅铸锭 多晶硅锭 内表面 中粒径 红边 粒径 制备 | ||
【主权项】:
1.一种复合结构石英陶瓷坩埚,其特征在于,所述复合结构石英陶瓷坩埚包括坩埚本体以及设置在所述坩埚本体的全部或部分内表面的高纯石英层,所述高纯石英层的材料包括纯度大于99.99%且粒径不超过5mm的高纯石英砂,其中,所述高纯石英砂中粒径大于2mm的颗粒质量占比为10%‑35%。
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