[发明专利]一种柔性的抛光装卸部件模块在审
| 申请号： | 201811158614.7 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109304670A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 顾海洋;张志军;古枫;王东辉 | 申请（专利权）人： | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李吉宽 |
| 地址： | 311305 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性的抛光装卸部件模块，包含一个装卸模块和两个抛光模块。装卸模块居中，两个抛光模块位于其两侧，装卸模块在与装卸模块和两个抛光模块排列方向相垂直的方向上有两个装卸台模块，两个装卸台模块的两个装卸位置分别对应所述两个抛光模块。装卸模块包含固定架、水槽、第一装卸台模块、第二装卸台模块、第一装卸台固定块、第二装卸台固定块、第一隔离罩、第二隔离罩。本发明通过将装卸部分和抛光部分进行模块化，拼接成一个抛光装卸整体模块，这种布局简化了设备结构，提高了设备的制造效率，并且缩小设备的占地空间。通过两个抛光头对应两个装卸台模块进行晶圆的传递节省了晶圆传输时间，也显著提高了机械平坦化的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 装卸台 装卸模块 抛光模块 抛光 装卸部件 隔离罩 固定块 晶圆 装卸 水槽 布局简化 排列方向 设备结构 占地空间 整体模块 装卸位置 垂直的 固定架 模块化 抛光头 平坦化 拼接 传输 传递 制造 | ||
【主权项】：
1.一种柔性的抛光装卸部件模块，其特征在于包含一个装卸模块和两个抛光模块，装卸模块居中，两个抛光模块位于其两侧，所述装卸模块在与装卸模块和两个抛光模块排列方向相垂直的方向上有两个装卸台模块，两个装卸台模块的两个装卸位置分别对应所述两个抛光模块。
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