[发明专利]一种高分辨率高效率投影光刻成像系统及曝光方法在审
| 申请号： | 201811150229.8 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109031899A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 张柯;胥涛棚;刘金武;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 吴月琴 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高分辨率高效率投影光刻成像系统及曝光方法，包括数字微镜阵列DMD、远心成像系统、微透镜阵列和分光光路装置，数字微镜阵列DMD通过远心成像系统成像于微透镜阵列，微透镜阵列聚焦成像为更小尺寸的光斑阵列，光斑阵列通过第二次远心成像系统并经过分光光路装置成像于光刻板，形成高分辨率的光斑图像，分光光路装置可以将整个视场沿着X轴方向扩展，增加曝光范围，有效的增加了曝光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 微透镜阵列 分光光路 高分辨率 远心成像 数字微镜阵列 成像系统 光斑阵列 投影光刻 高效率 曝光 光斑图像 聚焦成像 曝光效率 系统成像 光刻板 视场 成像 | ||
【主权项】：
1.一种高分辨率高效率的投影光刻成像系统，其特征在于：包括依次设置的照明光路、数字微镜阵列DMD、第一远心镜头、微透镜阵列、第二远心镜头和分光光路装置，所述照明光路通过棱镜入射于数字微镜阵列DMD，照明光路于数字微镜阵列DMD中入射光线与出射光线成24°角且出射光线方向垂直于数字微镜阵列DMD表面，所述照明光路成像于数字微镜阵列DMD的表面，所述数字微镜阵列DMD表面的照明像面通过第一远心镜头形成成像面光斑，所述成像面光斑通过微透镜阵列聚焦成像为光斑阵列，所述分光光路装置的三角棱柱中心位置设置在第二远心镜头出射光斑的正中心，所述光斑阵列通过第二远心镜头后经过分光光路装置成像于成像面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州源卓光电科技有限公司，未经苏州源卓光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811150229.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
