[发明专利]一种干刻下部电极的再生工艺预处理方法有效
| 申请号： | 201811148803.6 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109112458B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 强军 | 申请（专利权）人： | 芜湖通潮精密机械股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C4/02 | 分类号： | C23C4/02;C23C4/134 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 朱圣荣 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种干刻下部电极的再生工艺预处理方法，其特征在于：步骤1、将下部电极放入烘箱中烘干；步骤2、清洁下部电极上的陶瓷管；步骤3、将环氧树脂真空胶均匀的涂在下部电极上的陶瓷管内壁和上端面；步骤4、将下部电极放入烘箱中烘干；步骤5、打磨凝固的环氧树脂真空胶；步骤6、对打磨后的环氧树脂真空胶进行喷砂处理；步骤7、对下部电极进行等离子喷涂。本发明的优点在于方便操作简单，能够极大的提高等离子喷涂的效果，保证整个生产流程顺畅进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻下 电极 再生 工艺 预处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种干刻下部电极的再生工艺预处理方法，其特征在于：步骤1、将下部电极放入烘箱中烘干；步骤2、清洁下部电极上的陶瓷管；步骤3、将环氧树脂真空胶均匀的涂在下部电极上的陶瓷管与铝基板接触的外壁和上端面；步骤4、将下部电极放入烘箱中烘干；步骤5、打磨凝固的环氧树脂真空胶；步骤6、对打磨后的环氧树脂真空胶进行喷砂处理；步骤7、对下部电极进行等离子喷涂。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
