[发明专利]激光划片装置及应用于划片装置的激光等步距切割方法在审
| 申请号： | 201811148319.3 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109332912A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 林金明;林静;张晓宇 | 申请（专利权）人： | 无锡恒领科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/70;B23K26/08;B23K26/06;B23K26/142 |
| 代理公司： | 浙江杭知桥律师事务所 33256 | 代理人： | 王梨华;陈丽霞 |
| 地址： | 214131 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光划片技术领域，公开了激光划片装置及应用于划片装置的激光等步距切割方法，包括箱体，箱体内设有工作台，工作台包括下平台、支撑块和上平台，下平台上设有支撑块，支撑块上设有上平台，上平台上设有Z轴运动模组和折射镜固定板，Z轴运动模组上设有多焦点聚焦头和激光裂片聚焦头，折射镜固定板上设有第一反射镜和第二反射镜，上平台上还设有划片激光器、第一反射镜组、裂片激光器和第二反射镜组。本发明具有能完成划片和裂片操作、有效提升加工效率、提升产品质量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 上平台 激光划片装置 激光 反射镜组 划片装置 激光器 等步距 反射镜 固定板 聚焦头 下平台 折射镜 工作台 划片 裂片 切割 支撑 激光划片 加工效率 裂片操作 多焦点 应用 | ||
【主权项】：
1.激光划片装置，其特征在于：包括箱体(1)，箱体(1)内设有工作台(2)，工作台(2)包括下平台(203)、支撑块(202)和上平台(201)，下平台(203)上设有支撑块(202)，支撑块(202)上设有上平台(201)，上平台(201)上设有Z轴运动模组(12)和折射镜固定板(11)，Z轴运动模组(12)上设有多焦点聚焦头(18)和激光裂片聚焦头(20)，折射镜固定板(11)上设有第一反射镜(16)和第二反射镜(19)，上平台(201)上还设有划片激光器(9)、第一反射镜组(6)、裂片激光器(10)和第二反射镜组(15)，第一反射镜组(6)用于接收划片激光器(9)发射的激光，第一反射镜(16)用于接收第一反射镜组(6)的反射光，第二反射镜组(15)用于接收裂片激光器(10)发射的激光，第二反射镜(19)用于接收第二反射镜组(15)的反射光；下平台(203)上设有X/Y轴运动模组(8)，X/Y轴运动模组(8)上设有载物台(7)，载物台(7)位于多焦点聚焦头(18)和激光裂片聚焦头(20)的下方；X/Y轴运动模组(8)包括X轴运动模组(801)和Y轴运动模组(802)，X轴运动模组(801)设置在下平台(203)上，X轴运动模组(801)上设有Y轴运动模组(802)，Y轴运动模组(802)上设有载物台(7)，X轴运动模组(801)上设有X轴位置传感器(8011)，X轴位置传感器(8011)用于监测X轴运动模组(801)的位移数据，Y轴运动模组(802)上设有Y轴位置传感器(8021)，Y轴位置传感器(8021)用于监测Y轴运动模组(802)的位移数据。
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