[发明专利]基于圆环形光子晶体纳米梁谐振腔的电驱动激光器

摘要

本发明公开了一种基于圆环形光子晶体纳米梁谐振腔的电驱动激光器。该激光器由下至上依次包括Si基衬底、热氧化SiO2层、Si波导、BCB层、SiO2层、P掺杂层、有源区、N掺杂层、SiO2包覆层；所述Si基衬底、所述热氧化SiO2、所述Si波导共同构成SOI波导结构；所述P掺杂层、所述有源区、所述N掺杂层共刻出纳米梁谐振腔；所述P掺杂层上部在纳米梁谐振腔两侧镀有与Si波导平行的条状上电极，所述纳米梁谐振腔上部沿Si波导方向两端镀有下电极。本发明利用圆环形光子晶体纳米梁作为激光器的谐振腔，通过进一步减小光互连VCSEL有源区体积以提高激光器高速和低能耗性能。

主权项

1.一种基于圆环形光子晶体纳米梁谐振腔的电驱动激光器，其特征在于，该激光器由下至上依次包括Si基衬底（1）、热氧化SiO2层（2）、Si波导（3）、BCB层（4）、SiO2层（5）、P掺杂层6）、有源区（7）、N掺杂层（8）、SiO2包覆层（9）；其中，所述Si基衬底（1）、所述热氧化SiO2（2）、所述Si波导（3）共同构成SOI波导结构；所述P掺杂层（6）、所述有源区（7）、所述N掺杂层（8）共刻出纳米梁谐振腔；所述P掺杂层（6）上部在纳米梁谐振腔两侧镀有与Si波导（3）平行的条状上电极（11），所述纳米梁谐振腔上部沿Si波导（3）方向两端镀有下电极（10）；所述纳米梁谐振腔置于SOI波导结构的上部且通过BCB层（4）和SiO2层（5）隔开；所述纳米梁谐振腔和SOI波导结构组成的双台面填充SiO2包覆层（9）。