[发明专利]一种智能型单晶硅切割用真空吸盘

摘要

本发明公开了一种智能型单晶硅切割用真空吸盘，包括吸盘、连接管和双通件，所述吸盘内部固定有支撑板，所述支撑板上呈环形阵列开设有五个圆孔，所述圆孔外侧的支撑板上表面呈矩形阵列固定有四个套柱，所述套柱内滑动安装有内柱，所述内柱顶端固定有圆块，所述圆块下表面与套柱上表面之间固定有弹簧，所述弹簧套在内柱上，且弹簧与内柱不固定，所述圆块上表面贴合固定有硅胶垫，所述硅胶垫上表面低于吸盘顶端平面1mm，所述连接管顶端与吸盘底端固定连接，所述连接管底端与双通件顶端固定连接，所述双通件一侧固定有气管。本发明具有吸住单晶硅片，在吸盘内提供支撑点，保持单晶硅片切割时稳定的优点。