[发明专利]用于制造微机械元件的方法和微机械结构在审
| 申请号： | 201811119874.3 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN109553064A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | M·库恩克;H·施塔尔;S·马约尼 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00;H01L21/768;H01L23/528 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造微机械元件的方法，所述方法包括以下步骤：‑制造具有用于微机械元件的功能层、至少部分包围功能层的牺牲层和在牺牲层上的封闭罩的微机械结构，‑将覆盖层施加到微机械结构上，‑在覆盖层中制造栅格结构，‑在栅格结构下方制造空腔作为通向牺牲层的通道，‑至少部分地移除牺牲层，‑将封闭层至少施加到覆盖层的栅格结构上用于封闭通向空腔的通道。 | ||
| 搜索关键词： | 牺牲层 微机械结构 微机械元件 栅格结构 覆盖层 制造 功能层 空腔 施加 封闭层 封闭罩 移除 包围 封闭 | ||
【主权项】：
1.用于制造微机械元件的方法，所述方法包括以下步骤：‑制造微机械结构(2、3、4、5)，该微机械结构具有用于微机械元件的功能层(4)、至少部分包围所述功能层(4)的牺牲层(3)和在所述牺牲层(3)上的封闭罩(5)，‑将覆盖层(6)施加到所述微机械结构(2、3、4、5)上，‑在所述覆盖层(6)中制造栅格结构(7)，‑在所述栅格结构(7)下方制造空腔(8)作为通向所述牺牲层(3)的通道，‑至少部分地移除所述牺牲层(3)，‑将封闭层(9)至少施加到所述覆盖层(6)的所述栅格结构(7)上以封闭通向所述空腔(8)的所述通道。
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