[发明专利]一种多凹面光栅共轴装配系统及方法有效
| 申请号： | 201811118413.4 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN108983434B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 杨小虎;王淑荣;黄煜;张子辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供的多凹面光栅共轴装配系统及方法，采用两两匹配原则，利用标准模板保证待装配凹面光栅之间横向距离不变，通过半反半透镜组实现各级次光轴互逆，根据干涉仪检测波像差原理，将待装配凹面光栅调整到共轴，提高了装调精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 凹面 光栅 装配 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多凹面光栅共轴装配系统，其特征在于，所述系统包括：干涉仪，用于发出准直平面波，以及观测多凹面光栅返回的波像差；平面折转镜，与所述干涉仪相对，用于将所述干涉仪发出的准直平面波折转；调整机构，包括多个子调整组件，用于调节控制待装配凹面光栅的状态；标准平面镜，用于对折转后的平行光束进行过渡平移；半反半透镜组，由两个互相垂直的半反半透镜组成，所述平行光束经过所述半反半透镜分光形成第一路光束和第二路光束，第一路光束汇聚成回路与所述干涉仪的标准镜后面返回光束形成干涉；标准模板，具有两条平行刻线，所述第二路光束汇聚在所述标准模板处，用于根据所述第二路光束的汇聚情况辅助确定凹面光栅之间间距以及相对位置；硫酸纸屏，设置在两个半反半透镜之间，用于展示光束汇聚情况；经纬仪，设置在所述标准模板后侧，用于过渡平行光束且观测待装配凹面光栅各级光谱汇聚情况。
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