[发明专利]一种基于静电偏转的新型空间低能离子能量分析装置

摘要

本发明公开了一种基于静电偏转的新型空间低能离子能量分析装置，该装置包含静电聚焦系统、静电分析器、栅网、微通道板、固定顶帽和静电分析器的侧支撑结构、固定静电分析器的支撑结构等；静电聚焦系统由上下各三组同轴的金属圆环电极组成，各个环状电极由内到外半径依次增加；静电分析器为半球状；包括顶帽、内半球以及外半球。本发明在传统的低能离子能量分析装置的准直区设置了金属圆环静电聚焦系统，该静电聚焦系统可同时对进入分析器的带电粒子束实现准直和聚焦，增加了分析器对入射气体的接收角范围；同时由于聚焦系统对带电粒子束的聚焦作用，提高了静电分析器的检测离子能量的灵敏度和效率。

主权项

1.一种基于静电偏转的新型空间低能离子能量分析装置，其特征在于：所述装置包括静电聚焦系统(2)、静电分析器(3)、栅网(18)、微通道板(15)、固定静电分析器的支撑结构(13)、固定顶帽和静电分析器的侧支撑结构(1)、绝缘板(10)、压板(17)、微通道板支撑板(19)、支撑铜环(20)、阳极(21)、螺纹孔(22)、电极支柱(23)；所述的静电聚焦系统(2)包括第一圆环电极(7)、第二圆环电极(8)、第三圆环电极(9)；所述的静电分析器(3)包括顶帽(4)、内半球(5)、外半球(6)；所述的固定静电分析器的支撑结构(13)包括内支撑圆筒(12)、外支撑圆筒(11)、固定螺栓(14)以及整体支撑架(16)；所述顶帽(4)由侧支撑结构(1)固定在外半球(6)顶部；所述外半球(6)由整体支撑架(16)支撑固定；所述内半球(5)通过螺纹孔(22)固定在绝缘板(10)上，绝缘板(10)通过外支撑圆筒(11)、内支撑圆筒(12)以及固定螺栓(14)固定在整体支撑架(16)上；所述微通道板(15)上方设置栅网(18)，栅网(18)由压板(17)和微通道板支撑板(19)固定；下方设置有阳极(21)，阳极(21)与微通道板支撑板(19)之间设有支撑铜环(20)；所述第一圆环电极(7)包括上下两个电极，由电极支柱(23)分别固定与顶帽(4)底部和外半球(6)顶部；第二圆环电极(8)以及第三圆环电极(9)的固定与第一圆环电极(7)相同。