[发明专利]一种智能型单晶硅打磨用刀具在审
申请号: | 201811092107.8 | 申请日: | 2018-09-19 |
公开(公告)号: | CN110919498A | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
发明(设计)人: | 薛佳伟;薛佳勇;王海军 | 申请(专利权)人: | 天津众晶半导体材料有限公司 |
主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22;B24B55/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种智能型单晶硅打磨用刀具,包括桌板、护罩、滑块和第二限位槽,所述桌板表面开设有滑槽,所述滑槽内滑动安装有滑块,所述滑块表面开设有第一限位槽,所述桌板顶部表面位于护罩一侧固定安装有电机,所述电机的输出端固定有转轴,所述转轴贯穿护罩,且所述转轴上位于护罩内设有两个限位块,所述限位块之间夹持固定有打磨轮,所述桌板位于护罩背离电机一侧表面设有抽风管,所述桌板的一侧侧端面开设有第二限位槽,所述第二限位槽内活动安装有抽屉,所述桌板的底部表面位于抽屉下方开设有通风口,所述桌板底端设有支撑柱。本发明具备可快速对单晶硅切割面进行打磨,且可对打磨时产生的粉尘集在收集,便于清理的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 智能型 单晶硅 打磨 刀具 | ||
【主权项】:
暂无信息
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