[发明专利]用于检测SF6替代气体分解产物的亚微米薄膜传感器有效
| 申请号： | 201811087434.4 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN108956700B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 付钰伟;同向前;段建东;孙向东;姬军鹏;尹忠刚 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 韩玙 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于检测SF6替代气体分解产物的亚微米薄膜传感器，包括传感器基底，传感器基底上表面为电流感应薄膜，用于输出传感器响应电流，传感器基底下表面为粘合材料层，用于固定传感器基底，电流感应薄膜上设置有气敏探针阵列，气敏探针阵列外部涂覆有无定型氟聚合物层，其中，传感器基底采用聚四氟乙烯或者液态硅胶材料制成，电流感应薄膜采用金属材料制成，通过屏蔽电缆输出响应电流，粘合材料层为低渗透性的聚丙烯薄膜，气敏探针阵列材料为对氟原子敏感的叶绿素，气敏探针阵列利用等离子体化学气相沉积法制备而成，本发明解决了现有技术中缺乏能够精确检测环境友好型SF6替代气体分解组分的设备的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 探针阵列 电流感应 基底 薄膜 气体分解产物 粘合材料层 微米薄膜 检测 替代 等离子体化学气相沉积 叶绿素 氟聚合物层 固定传感器 环境友好型 基底上表面 基底下表面 聚丙烯薄膜 聚四氟乙烯 输出传感器 低渗透性 金属材料 屏蔽电缆 气体分解 输出响应 响应电流 液态硅胶 氟原子 定型 涂覆 敏感 外部 | ||
【主权项】：
1.用于检测SF6替代气体分解产物的亚微米薄膜传感器，其特征在于，包括传感器基底(1)，传感器基底(1)上表面为电流感应薄膜(2)，用于输出传感器响应电流，所述传感器基底(1)下表面为粘合材料层(3)，用于固定传感器基底(1)，电流感应薄膜(2)上设置有气敏探针阵列(4)，气敏探针阵列(4)外部涂覆有无定型氟聚合物层(5)；所述粘合材料层(3)为低渗透性的聚丙烯薄膜；所述气敏探针阵列(4)材料为对氟原子敏感的叶绿素，气敏探针阵列(4)利用等离子体化学气相沉积法制备而成；所述气敏探针阵列(4)的探针长度为亚微米级。
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