[发明专利]一种多路大功率微波注入与S参数测量的自动化一体装置有效
| 申请号： | 201811086063.8 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109188234B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 高原;秦风;吴双;赵景涛;陈自东;刘廷军;袁月乾 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 詹永斌 |
| 地址： | 621000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了与隔离器连接的单刀双掷微波开关A的选择端，解决了目前半导体器件微波注入效应实验与测量场景分离、效率低下、实验可靠性低等问题，包括功率放大器、微波S参数测量设备、环形器、微波开关、微波开关控制器、隔离器和负载，微波开关控制器的信号输出信号与微波开关连接，本发明采用双数结构的装置，能够自动实现微波注入和半导体参数测量，被测器件不需要再反复连接，器件不会因为参数的测量造成损伤，测量的结果可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大功率 微波 注入 参数 测量 自动化 一体 装置 | ||
【主权项】：
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