[发明专利]致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法有效
| 申请号： | 201811078551.4 | 申请日： | 2015-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN109100861B | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 广久保望 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G02B5/28 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法。分光测定装置具备：静电致动器(56)，通过被施加驱动电压而驱动；间隙检测器(151)，检测间隙(G1)的尺寸；闭环系统(15L)，根据来自间隙检测器(151)的检测信号，控制向静电致动器(56)施加的驱动电压；以及增益设定单元(164)，根据基于间隙检测器(151)的检测信号的静电致动器(56)的驱动特性，设定闭环系统(15L)中的增益。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 控制 装置 光学 模块 电子设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种致动器控制装置，其特征在于，包括：检测单元，检测波长可变干涉滤波器的第一反射膜与所述波长可变干涉滤波器的第二反射膜间的间隙尺寸；以及反馈环路，根据检测到的所述间隙尺寸，控制向所述波长可变干涉滤波器的致动器施加的驱动电压，所述反馈环路中的增益与基于检测到的所述间隙尺寸的所述致动器的驱动特性相应。
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