[发明专利]微结构模态分析声激励频域光学相干层析检测装置及方法

摘要

本发明涉及一种微结构模态分析声激励频域光学相干层析检测装置及方法，其中装置包括：声激励模块、干涉仪模块、光栅光谱仪模块和计算机。对于方法，首先通过声激励模块产生声波信号激励微结构产生振动。其次，通过干涉仪模块测量微结构产生的振动，带有振动信息的干涉信号进入光栅光谱仪模块中由相机采集光谱信号并传入计算机中。最后，采用波长标定算法和频谱校正算法对傅里叶变换后的频域干涉光谱信号的峰值频率进行精确校正，通过校正后的峰值频率随时间变化关系获得微结构样品振动时域曲线，即还原出振动信号。该装置可对微结构实现非接触式亚纳米量级振动测量，测量装置简单，测量速度快，可靠性强。

主权项

1.一种微结构模态分析声激励频域光学相干层析检测装置，其特征在于，包括：声激励模块、干涉仪模块和光栅光谱仪模块；所述声激励模块包括相连接的函数信号发生器和扬声器；在所述干涉仪模块中，沿光源出光方向依次设置有第三凸透镜和分光镜，所述分光镜在第三凸透镜的对侧依次设置有第一凸透镜和微结构夹具；所述扬声器设置在微结构夹具的旁侧；所述分光镜垂直于第三凸透镜和第一凸透镜方向的左侧依次设置有第二凸透镜和第一反射镜；在所述光栅光谱仪模块中，第二反射镜设置在所述分光镜垂直于第三凸透镜和第一凸透镜方向的右侧；反射光栅设置在所述第二反射镜的反射出光方向上；沿所述反射光栅的反射出光方向依次设置有柱透镜和高速线阵相机。