[发明专利]基于电化学摩擦诱导的微纳加工方法在审
| 申请号： | 201811054774.7 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN109292731A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 蒋淑兰;钱林茂;彭勇;余丙军 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 成都虹盛汇泉专利代理有限公司 51268 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 610031 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于电化学摩擦诱导的微纳加工方法，包括以下步骤：S1、衬底预处理：将半导体衬底表面清洗干净后烘干，获得样品A；S2、摩擦诱导加工：采用硬度大于半导体衬底的加工针尖在样品A表面进行摩擦诱导加工，获得表面具有设定形状图案的样品B；S3、制备微/纳结构：将样品B放入刻蚀溶液中，对其进行电化学刻蚀，即可获得具有高深宽比的微纳结构。总体而言，该制备方法具有成本低、过程可控、操作简单、加工效率高和可定位定点加工的优点，适合规模化生产，此方法得到的微纳结构能够用于微能源器件和微传感器件等，具有很强的实用价值和广阔的应用前景，值得在业内推广。 | ||
| 搜索关键词： | 诱导 摩擦 电化学 微纳加工 微纳结构 加工 衬底 制备 半导体衬底表面 预处理 电化学刻蚀 规模化生产 高深宽比 加工效率 刻蚀溶液 微传感器 形状图案 可定位 微能源 针尖 烘干 放入 可控 半导体 清洗 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于电化学摩擦诱导的微纳加工方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、衬底预处理：将半导体衬底表面清洗干净后烘干，获得样品A；S2、摩擦诱导加工：采用硬度大于半导体衬底的加工针尖在样品A表面进行摩擦诱导加工，获得表面具有设定形状图案的样品B；S3、制备微/纳结构：将样品B放入刻蚀溶液中，对其进行电化学刻蚀，即可获得具有高深宽比的微纳结构；或所述步骤S2和所述步骤S3同时进行：将样品A放入刻蚀溶液中，采用硬度大于半导体衬底的加工针尖在样品A表面进行摩擦诱导加工，同时对其进行电化学刻蚀，即可获得具有高深宽比的微纳结构。
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