[发明专利]靶材抛光装置在审
| 申请号： | 201811049337.6 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN110883709A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;丁向前 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24D15/02 | 分类号： | B24D15/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 237400 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种靶材抛光装置，包括：固定板，所述固定板包括顶板和位于所述顶板一侧的侧板；抛光片，位于所述固定板内侧面上，其中位于固定板弯折处的抛光片呈弧状。所述靶材抛光装置有助于提高对靶材表面进行抛光的作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥江丰电子材料有限公司，未经合肥江丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811049337.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种阵列基板
- 下一篇：智能目标挡位计算方法
