[发明专利]表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法在审
| 申请号： | 201811044729.3 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109752381A | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 徐元国;尹贵玹;李学骏 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本申请涉及表面检查装置、表面检查方法以及制造显示设备的方法，其中该表面检查装置包括：第一相机，所述第一相机拍摄待检查物体的图像；半透半反镜，所述半透半反镜设置在位于第一光轴上的所述第一相机的上方；光源，所述光源与位于第二光轴上的半透半反镜相邻设置，所述第二光轴与所述第一光轴相交。所述光源辐射光，并且所述光经所述半透半反镜被导向所述待检查物体。所述表面检查装置还包括反射器，所述反射器设置在位于所述第一光轴上的所述半透半反镜的上方。所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。 | ||
| 搜索关键词： | 半透半反镜 光轴 表面检查装置 反射器 表面检查 显示设备 光源 相机 反射凹面 光源辐射 相机拍摄 相邻设置 检查 制造 相交 图像 申请 | ||
【主权项】：
1.一种表面检查装置，包括：第一相机，所述第一相机拍摄待检查物体的图像；半透半反镜，所述半透半反镜设置在位于第一光轴上的所述第一相机的上方；光源，所述光源与位于第二光轴上的半透半反镜相邻设置，所述第二光轴与所述第一光轴相交，其中，所述光源辐射光，并且所述光经所述半透半反镜被导向所述待检查物体；以及反射器，所述反射器设置在位于所述第一光轴上的所述半透半反镜的上方，其中，所述反射器包括朝向所述待检查物体的反射凹面。
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