[发明专利]双载台曝光机

摘要

本发明涉及曝光器械领域，具体提供一种双载台曝光机，包括输送装置、光源产生装置以及送料装置。所述输送装置具有机座、第一传送机构以及第二传送机构，机座具有第一带动单元及第二带动单元，第一传送机构具有第一座体、第一升降单元及第一承载单元，第二传送机构具有第二座体、第二升降单元及第二承载单元；光源产生装置设于输送装置一侧的上方；送料装置设于输送装置的另一侧。由此，可于第一传送机构输送感光基板进行曝光时，由第二传送机构输送另一个感光基板等候进行曝光，并于第二传送机构输送另一个感光基板进行曝光时，再由第一传送机构输送其他感光基板等候进行曝光，如此循环输送感光基板，提升了感光基板的传输效率及曝光机的产速。

主权项

1.一种双载台曝光机，其特征在于，所述双载台曝光机包括：输送装置，其包括机座、第一传送机构以及第二传送机构，所述机座内部的两侧分别设有相对向的第一带动单元及第二带动单元，所述第一传送机构具有第一座体、第一升降单元及第一承载单元，所述第一座体设于所述第一带动单元，所述第一升降单元设于所述第一座体的一面，所述第一承载单元设于所述第一升降单元，所述第二传送机构具有第二座体、第二升降单元及第二承载单元，所述第二座体设于所述第二带动单元，所述第二升降单元设于所述第二座体的一面，所述第二承载单元设于所述第二升降单元；光源产生装置，其设于所述输送装置一侧的上方；以及送料装置，其设于所述输送装置的另一侧。