[发明专利]等离子喷枪、旋转靶材等离子处理系统在审
| 申请号： | 201811027250.9 | 申请日： | 2018-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109005634A | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 许天保;刘芸芸 | 申请（专利权）人： | 深圳杜摩韦尔工程技术有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/28 | 分类号： | H05H1/28;H05H1/34;B08B7/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子喷枪，包括喷嘴、等离子腔室、通气管道、冷却气管和工艺气体管；喷嘴、等离子腔室和通气管道依次连接，冷却气管与通气管道连通，通气管道的外壁上设置有冷却气排气孔，工艺气体管穿过通气管道与等离子腔室连通。还公开了旋转靶材等离子处理系统。本发明的等离子喷枪，通过向通气管道通入冷却气，从而克服前端高温向后端蔓延的问题；本发明的系统通过喷枪支撑件调整喷嘴位置，通过旋转靶材支撑件带动旋转靶材转动，实现旋转靶材内部和表面的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 通气管道 旋转靶材 等离子喷枪 等离子腔室 等离子处理系统 工艺气体管 冷却气管 喷嘴 冷却气 连通 靶材转动 带动旋转 喷枪支撑 喷嘴位置 依次连接 排气孔 支撑件 外壁 向后 清洗 穿过 | ||
【主权项】：
1.等离子喷枪，其特征在于：包括喷嘴、等离子腔室、通气管道、冷却气管和工艺气体管；喷嘴、等离子腔室和通气管道依次连接，冷却气管与通气管道连通，通气管道的外壁上设置有冷却气排气孔，工艺气体管穿过通气管道与等离子腔室连通。
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