[发明专利]一种高灵敏度液压油液检测装置及其制作方法

摘要

本发明提供一种高灵敏度液压油液检测装置及其制作方法，用于区分检测油液中的铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒、水滴和气泡等颗粒污染物。装置制作方法基于微流控芯片技术，首次将两个平面线圈，两个螺线管线圈组合嵌入微流控芯片中，两个平面线圈贴合放置，两侧分别对称放置螺线管线圈，并分别在两个螺线管线圈中加入两个硅钢片，显著提高了装置的检测灵敏度。该芯片利用同一个传感器单元进行电压检测，从而实现对滑油、液压油中多种颗粒污染物的区分检测，对机器设备进行油液在线监测提供了行之有效的方法，并且可以对机器设备进行故障诊断。

主权项

1.一种高灵敏度液压油液检测装置，其特征在于，包括微流控检测芯片以及测量单元；所述微流控检测芯片包括玻璃基底和设置在玻璃基底上的芯片主体；所述芯片主体包括：设置在芯片主体上的一端设置有微流道入口、另一端设置有微流道出口的微流道以及传感模块和激励模块；所述传感模块包括两个结构相同的单层平面线圈；两个所述单层平面线圈正对排布，所述微流道从两个单层平面线圈的内孔穿过，所述微流道紧贴两个单层平面线圈的内孔边缘；所述激励模块包括两个螺线管线圈以及四个硅钢片，所述两个螺线管线圈对称排布在两个单层平面线圈的两侧每个螺线管线圈均放置两个硅钢片，硅钢片靠近平面线圈的一端紧贴微流道，另一端贴近螺线管线圈内壁，通过与所述平面线圈串联增强感应电流强度进而形成激励作用；所述测量单元通过绝缘导线与所述传感模块中两个单层平面线圈两端的四个引脚连接；使用时，所述测量单元对所述传感模块施加高频信号激励，同时还对所述传感模块的电压信号进行检测，根据检测结果实现对油液中颗粒污染物的区分。