[发明专利]热电输运参数高通量测量系统及方法有效
| 申请号： | 201810989600.3 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109164136B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 郑利兵;刘珠明;孙方远;王大正;韩立 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 吴黎 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热电输运参数高通量测量系统及方法，该系统包括：三维平台，具有放置待测样品的X‑Y两轴移动平台，以及安装有四探针组件的Z轴移动平台，四探针组件用于测量待测样品的待测区域的电导率和塞贝克系数；热反射测量装置，用于将脉冲激光分为具有预设光程差的第一激光束和第二激光束，第一激光束用于加热待测样品的待测区域，第二激光束用于测量待测样品的待测区域热导率；第一激光束同时作为四探针组测量塞贝克系数的热源。结合高精度X‑Y两轴移动平台，可以实现大尺寸样品的热导率的高通量测量，第一激光束作为四探针组测量塞贝克系数的热源可以巧妙的提高塞贝克系数的测量效率，进而能够实现电导率、塞贝克系数以及热导率等热电输运参数的高通量测量。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 输运 参数 通量 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种热电输运参数高通量测量系统，所述热电输运参数包括：电导率、塞贝克系数以及热导率，其特征在于，包括：三维平台，具有放置待测样品的X‑Y两轴移动平台，以及安装有四探针组件的Z轴移动平台，所述四探针组件用于测量所述待测样品的待测区域的电导率和塞贝克系数；热反射测量装置，用于将脉冲激光分为具有预设光程差的第一激光束和第二激光束，所述第一激光束用于加热所述待测样品的待测区域，所述第二激光束用于测量所述待测样品的待测区域热导率。所述第一激光束同时作为四探针组测量塞贝克系数的热源。
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