[发明专利]一种具有高储能密度与优良热稳定性的无铅外延多层薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201810988745.1 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109082642A | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 刘明;范巧兰 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及储能薄膜材料领域，具体涉及一种具有高储能密度与优良热稳定性的无铅外延多层薄膜及其制备方法，本发明的无铅外延多层薄膜，包括Nb:SrTiO3基片和层状结构，所述层状结构设置于Nb:SrTiO3基片的上表面；所述层状结构包括若干层依次堆叠设置的第一层状结构，第一层状结构包括自下而上依次堆叠设置的BaZr0.15Ti0.85O3层和BaZr0.35Ti0.65O3层；本发明的薄膜在储能密度高的同时，能量效率高，热稳定性优异。 | ||
| 搜索关键词： | 层状结构 多层薄膜 热稳定性 无铅 堆叠设置 高储能 储能 制备 薄膜材料 能量效率 上表面 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种具有高储能密度与优良热稳定性的无铅外延多层薄膜，其特征在于，包括Nb:SrTiO3基片和层状结构，所述层状结构设置于Nb:SrTiO3基片的上表面；所述层状结构包括若干层依次堆叠设置的第一层状结构，第一层状结构包括自下而上依次堆叠设置的BaZr0.15Ti0.85O3层和BaZr0.35Ti0.65O3层。
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