[发明专利]一种衍射光学元件生成超细线激光三维形貌测量方法在审
| 申请号： | 201810981701.6 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN109141284A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 杨树明;刘涛;王通;刘强;杨轩文;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 高博 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种衍射光学元件生成超细线激光三维形貌测量方法，利用多台阶衍射光学元件生成超细线激光，该方法通过平行激光光束照明多台阶衍射光学元件，经过傅里叶变换透镜后，在焦平面内得到超细线激光，将待测物体放置于该平面，在焦平面内沿垂直线激光方向匀速扫描物体，采用激光三角测量法实现对物体三维形貌的精确重构。本发明采用了衍射光学元件生成超细线激光，可实现对物体更小特征的识别，因而提高了测量精度，可用于工程样品的三维形貌光学精密检测。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射光学元件 超细线 激光 三维形貌测量 三维形貌 多台阶 焦平面 傅里叶变换透镜 激光三角测量法 平行激光光束 待测物体 激光方向 精密检测 匀速扫描 垂直线 小特征 可用 重构 测量 | ||
【主权项】：
1.一种衍射光学元件生成超细线激光三维形貌测量方法，其特征在于，由激光器产生的平行激光照明衍射光学元件，经过傅里叶变换透镜后，在其焦平面上实现超细线激光聚焦，将待测物体放置于该位置，在焦平面内沿垂直线激光方向匀速扫描物体，采用成像镜头和CCD传感器组成的摄像装置对扫描图像进行采集，利用激光三角法实现对物体三维形貌的重构测量。
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