[发明专利]一种碱性蚀刻液循环再生系统及其方法

摘要

本发明公开了一种碱性蚀刻液循环再生方法，包括以下步骤：(1)蚀刻废液产生；(2)萃取：蚀刻废液与萃取剂混合，铜离子从蚀刻废液中分离，形成负载铜油相，再生液存于再生液桶中；(3)组分调节：对再生液进行Cu²⁺、NH₄⁺、Cl^‑与PH值化验，根据化验结果确定所需添加的氨与氯化铵的量，再回流至蚀刻生产线；(4)一道水洗：对负载铜油相一道水洗，分离出水相与负载铜油相；(5)反萃取：将负载铜油相转入反萃液中，负载铜油相中的负载萃取剂与H₂SO₄溶液接触反应，铜离子从萃取剂中分离出来，生成CuSO₄溶液进入水相中；(6)电积：将CuSO₄溶液加入电解液中，由电解液对CuSO₄溶液进行电解，阴极沉积粗铜，阳极产生氧气，并将CuSO₄电积后液回流到反萃取缸中。

主权项

1.一种碱性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)蚀刻废液产生：由蚀刻生产线产生的蚀刻废液储存于废液桶中，废液桶中的蚀刻废液添加至萃取缸中；(2)萃取：添加到萃取缸中的蚀刻废液与萃取缸中的萃取剂混合反应，萃取剂浓度为40‑60％，相比为O/A＝2，大部分铜离子从蚀刻废液中分离，并与萃取剂反应生成负载萃取剂，然后澄清分层，油水分离，形成负载铜油相，而含铜浓度降低到25‑35g/L的再生液为水相存于再生液桶中；(3)组分调节：对再生液桶中的再生液进行Cu2+、NH4+、Cl‑与PH值化验，根据化验结果确定所需添加的氨与氯化铵的量，使形成的蚀刻再生液符合蚀刻需求，再回流至蚀刻生产线中使用，于此同时执行步骤(4)；(4)一道水洗：对负载铜油相进行一道水洗，进一步分离出水相与负载铜油相；(5)反萃取：将步骤(4)分离出的负载铜油相转入反萃取缸中，并往反萃取缸中加入浓度为2.5‑3.5mol/L的H2SO4溶液作为反萃液，负载铜油相中的负载萃取剂与H2SO4溶液充分接触反应，使铜离子从萃取剂中分离出来，然后澄清分层，油水分离，生成CuSO4溶液进入水相中，而分离出铜离子后的萃取剂恢复萃取功能，用于步骤(2)中的萃取工序中；(6)电积：往电积槽中加入含12‑45g/L铜、180‑220g/L硫酸、小于0‑1g/L铁与0‑10g/L油的电解液，将步骤(5)水相中的CuSO4溶液加入到电解液中，由电积槽中间距为100‑120mm的阳极与阳极对反萃取得到的CuSO4溶液进行电解，电解液流速为0.1‑0.2m3/m2.h，电流密度为100‑240A/m2，则在阴极沉积粗铜，在阳极产生氧气，同时重新生成H2SO4溶液，并将含H2SO4溶液的剩余CuSO4电积后液回流到反萃取缸中。