[发明专利]具备防振装置的曝光装置在审
| 申请号： | 201810948194.6 | 申请日： | 2013-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN109031895A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 佐藤真路 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种曝光装置，经由光学部件(13)与基板(P)之间的液体(LQ)以曝光用光对基板进行曝光，该曝光装置具备装置框架(8B)、包括光学部件的光学系统、包括配置于光学部件周围的至少一部分的第1部件(21)和配置于光学部件周围的至少一部分的第2部件(22)并且能够形成液浸空间的液浸部件(5)、能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置(56)，和防振装置(55)，经由防振装置(55)将第1部件支承于装置框架。 | ||
| 搜索关键词： | 光学部件 防振装置 曝光装置 装置框架 部件移动 光学系统 曝光用光 驱动装置 液浸空间 对基板 基板 液浸 支承 配置 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置，经由光学部件与基板之间的液体以曝光用光对所述基板进行曝光，该曝光装置具备：装置框架；光学系统，其包括所述光学部件；液浸部件，其能够形成液浸空间，并且包括配置于所述光学部件周围的至少一部分的第1部件、和配置于所述光学部件周围的至少一部分的第2部件；驱动装置，其能够使所述第2部件相对于所述第1部件移动；和防振装置，经由所述防振装置而使所述第1部件支承于所述装置框架。
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