[发明专利]静电卡盘性能检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201810916692.2 | 申请日： | 2018-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN110873640B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王建冲;韩玮琦;杨鹏远;唐娜娜;张玉利;侯占杰;荣吉平;黎远成;姜鑫 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M13/00 | 分类号： | G01M13/00;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京头头知识产权代理有限公司 11729 | 代理人： | 刘锋 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电卡盘性能检测装置及检测方法，属于静电卡盘性能检测领域。所述静电卡盘性能检测装置包括真空腔室和测试气路，真空腔室上连接有真空泵，真空腔室内设置有转接盘，转接盘的上方设置有静电卡盘，静电卡盘的上表面用于放置被吸附物，静电卡盘与被吸附物之间存在吸附缝隙，静电卡盘和转接盘的中心处设置有与测试气路相连通的气孔；测试气路上依次设置有背吹气源、气体质量流量计和真空计，背吹气源与气体质量流量计之间设置有第一阀体，气体质量流量计与真空计之间设置有第二阀体。本发明既可以保证检测环境与超薄材料的镀膜工艺环境一致，又能使检测时被吸附物在其中心受力，根据该方法判断出的静电卡盘吸附性能也较准确。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 性能 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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