[发明专利]一种激光诱导放电表面微结构加工方法及装置有效
| 申请号： | 201810910597.1 | 申请日： | 2018-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN108971745B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 王玉峰;张文武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/352 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光诱导放电表面微结构加工方法与装置。将微尺度工具电极连接电源负极，微尺度工具电极一端的端面和工件待加工区域表面保持一定间隙，间隙中充盈液态的工作介质；将激光汇聚于所述间隙，工作介质在激光能量作用下气化，在微尺度工具电极的所述一端产生连续气体；电源通电，阴极与阳极之间形成电回路，当所述间隙中的电场强度大于气体的击穿强度时，产生击穿放电，工件的待加工区域表面被高温蚀除，实现工件表面的微细结构加工。该方法可以在不适用腐蚀性电解液的条件下实现导电材料或非导电材料的微结构加工，通过调控工件的待加工区域以及所述间隙距离，可实现不同轮廓微结构的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 诱导 放电 表面 微结构 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光诱导放电表面微结构加工方法，其特征是：采用电源，微尺度工具电极连接电源负极，微尺度工具电极一端的端面和工件待加工区域表面保持一定间隙，所述间隙中充满液态的工作介质；将激光汇聚于所述间隙，充盈在所述间隙中的工作介质在激光能量作用下气化，在微尺度工具电极的所述一端产生连续气体层；电源通电，阴极与阳极之间形成电回路，当所述间隙中的电场强度大于所述气体的击穿强度时，产生击穿放电，工件的待加工区域表面被高温蚀除，实现工件表面的微细结构加工。
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